Hemm tliet proċessi ewlenin għall-manifattura tat-TFT-LCD:
1) Ipproċessar Array
2) Proċess ta 'organizzazzjoni
3) Proċess modulari
Fl-aħħarnett, naraw il-prodott.
1.Ipproċessar Array
1) Biċċa tal-ħġieġ b'wiċċ lixx u mingħajr impuritajiet hija l-materja prima ewlenija għall-manifattura ta 'sottostrati tal-ħġieġ TFT. Qabel ma tagħmilha, il-ħġieġ għandu jinħasel nadif b'soluzzjoni speċjali tat-tindif, imbagħad jiġi deidrat u mnixxef.
2) Sabiex tiġi depożitata film tal-metall fuq sottostrati tal-ħġieġ, l-ewwel materjali tal-metall għandhom jitqiegħdu f'kamra tal-vakwu. Wara li l-plażma tiġi prodotta minn gassijiet speċjali fuq il-metall, l-atomi fuq il-metall se jiġu megħluba fil-ħġieġ, u mbagħad jiġi ffurmat saff ta 'film tal-metall.
3) Wara l-kisi tal-film tal-metall, jeħtieġ ukoll li niksi saff ta 'saff mhux konduttiv u saff semi-konduttiv. Fil-kamra tal-vakwu, l-ewwel insaħħnu l-pjanċa tal-ħġieġ, imbagħad roxx il-gass speċjali mill-isprejer elettriku ta 'vultaġġ għoli biex l-elettroni u l-gassijiet jipproduċu plażma. Wara reazzjoni kimika, is-saff mhux konduttiv u s-saff tas-semikondutturi huma ffurmati fuq il-ħġieġ.
4) Wara li l-film jiġi ffurmat, għandna bżonn nagħmlu mudelli ta 'transistor fuq il-ħġieġ. L-ewwelnett, għandna bżonn nisprejjaw likwidu fotoreżistiv sensittiv ħafna fil-kamra Isfar, imbagħad ikopruha b'maskra ħafifa biex tirradja d-dawl blu u vjola għall-espożizzjoni, u finalment tibgħatha fiż-żona ta 'żvilupp biex tisprejja l-iżviluppatur, sabiex biex tneħħi r-reżistenza tad-dawl wara l-illuminazzjoni, iżda wkoll biex is-saff fotoreżistiv isir sterjotipat.
5) Wara li l-photoresist jiġi ssettjat, nistgħu nużaw inċiżjoni għal inċiżjoni mxarrba, tesponi l-film inutli, jew inċiżjoni niexfa bir-reazzjoni kimika tal-plażma. Wara l-inċiżjoni, nistgħu nneħħu l-photoresist li jifdal biż-żlieq, u finalment nipproduċu l-mudell taċ-ċirkwit meħtieġ mit-transistor.
6) Biex tifforma transistors ta 'film irqiq disponibbli, huwa meħtieġ li jiġu ripetuti l-proċessi ta' tindif, kisi, fotoreżistenza, espożizzjoni, żvilupp, inċiżjoni u tneħħija ta 'fotoreżistenza. B'mod ġenerali, biex timmanifattura TFT-LCD, huwa meħtieġ li tirrepeti 5 sa 7 darbiet.
